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陕西特殊气体的半导体气体种类可分为哪些类别
发布日期:2022-09-16 关注次数:320
目前半导体气体市面上特殊气体一般分为:

1、腐蚀性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等;

2、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…

3、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等;

4、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等。

      半导体气体很多是对人体有害的。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应,开始燃烧;还有AsH3的剧毒性,任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害,也就是因为这些显而易见的危险,所以对于系统设计安全性的要求就特别高。

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