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如何选择高纯气体管道及其附件的材料?
发布日期:2024-05-16 关注次数:95
      高纯度气体的输送是否能将高纯气体送至用气点,并保持其质量合格,关键在于供气系统规划合理、管件及附件选择正确、施工安装正确以及实验检测合格。在选择高纯气体管道时,需要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等要求的不同,选用相应质量的管材。
      以半导体产业为例,由于其生产工艺复杂、加工精细,不仅要求有洁净的生产环境,而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定且严格的要求。从微米技术进入亚微米、深亚微米(小于0.35g/m)技术,对气体中的杂质含量、水含量要求极为严格。目前,10(ppm级)的杂质含量已经不能满足要求,需要达到10(ppb级),甚至10-2(ppt级)。此外,尘埃粒径要求控制在0.05-0.1μm以内。因此,选择管道自身的管道材料特性以适应高纯、超高纯气体的要求成为必要条件。

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