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高纯气体使用的管道必须具有的特性分析
发布日期:2024-07-06 关注次数:49
1. 气体浸透性。对于运送ppm级及更高纯度要求的气体,从气体浸透视点有必要选用不锈钢管或许钢管。如果不恰当地选用了不符合要求的管道资料,那么,不管采取什么净化手法,都将是无济于事的。
2. 出气速率。资料冶炼过程形成的管道资料晶间或许晶格内部存在着某些杂质,如氮、碳氢化合物等,在高纯气体运送过程中,这些杂质会缓慢地释放出来,污染高纯气体,尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。
3. 吸附性。由于水分等杂质是极性分子,吸附性很强。橡胶、塑料或一些外表粗糙的资料极易吸附水分等杂质,铜材对水吸附性极强,运用这些资料运送高纯气体易被污染。除了运送ppm级以下的氧气会运用紫铜管外,高纯气体都不选用铜管和塑料管。气体会接触到的垫片、填料也不得选用橡胶、塑料资料(包括聚四氟乙烯)。
4. 外表粗糙度和耐磨性。为了确保运送的气体纯净度,要求管道资料内外表有一个极高的亮光度,这样能够防止污染粒子及湿气在管壁滞留。管材比较亮光而且耐磨,能够在气流高速冲刷下发生金属粒子较少,不锈钢比铜管发生粒子要少,所以不锈钢管耐磨性优于钢管。
5. 抗腐蚀性。微电子生产中经常运用一些腐蚀性很强的气体。这时有必要选用耐腐蚀的管材否则管道会被腐蚀轻则外表发生锈斑重则管道大面积脱落、穿孔不但污染气体还会发生安全事故。

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