不同应用场景下高纯氢气的纯度要求
燃料电池行业 常规车用氢燃料电池要求氢气纯度达到99.97%以上,对一氧化碳、硫化物等杂质的含量有严格限制,避免杂质毒化燃料电池的催化剂,保障电池的发电效率和使用寿命。
半导体电子制造行业 芯片级生产场景要求高纯氢气纯度达到99.9999%(6N)及以上,部分先进制程的生产环节甚至要求纯度达到99.99999%(7N),将各类杂质的含量控制在ppb级别,避免杂质影响半导体器件的良率和性能。
高端化工合成行业 用于精细化工、医药中间体加氢合成的高纯氢气,纯度通常要求达到99.999%(5N),严格控制烃类、水分等杂质的占比,减少副反应的生成,保障最终化工产品的纯度达标。
航空航天与高端冶金行业 航天推进剂用高纯氢气纯度要求不低于99.995%,特种冶金保护气用氢气纯度需达到99.999%,避免杂质在高温环境下与金属材料发生反应,保障特种合金的力学性能符合标准。
半导体电子制造行业 芯片级生产场景要求高纯氢气纯度达到99.9999%(6N)及以上,部分先进制程的生产环节甚至要求纯度达到99.99999%(7N),将各类杂质的含量控制在ppb级别,避免杂质影响半导体器件的良率和性能。
高端化工合成行业 用于精细化工、医药中间体加氢合成的高纯氢气,纯度通常要求达到99.999%(5N),严格控制烃类、水分等杂质的占比,减少副反应的生成,保障最终化工产品的纯度达标。
航空航天与高端冶金行业 航天推进剂用高纯氢气纯度要求不低于99.995%,特种冶金保护气用氢气纯度需达到99.999%,避免杂质在高温环境下与金属材料发生反应,保障特种合金的力学性能符合标准。

